拉萨航空发动机测试仪定制

研究目的：研究一种多点并行曝光、且曝光面上各曝光点曝光可控及曝光强度宏微双重可调的高分辨力的激光直接写入新技术，以解决传统激光直写单点曝光制作效率低的问题，提高微阵列和微结构光学器件的制作效率。基本原理：多光斑可控并行激光直写的基本思想是以微光学镜阵列作为直写物镜，将写入激光分别聚焦为多个高分辨力写入光斑，以分散直写任务;利用数字微镜DMD控制各子光斑是否曝光，并采用声光调制器进行宏微双重调制写入光强。

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HUE--D1331系列超精密气浮导轨主要用于高精度测量仪器、光学检测仪器、精密/超精密光机电一体化装备、精密/超精密机床等先进装备制造领域，是精密/超精密仪器与制造装备中保证高精度直线运动导向和定位的关键部件。HHUE--D1331气浮导轨已成系列，其有效行程从50mm至3000mm截面尺寸主要从50mm×50mm至250mm×350mm(见表2);该系列气浮导轨具有优异的直线运动精度和良好的刚度，直线运动误差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可单独设计。

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适用于实验室和车间环境;电压：220V或380V交流电压，50Hz;气源：0.4MPa的过滤干燥空气;温度：20℃±5℃;湿度：<60%;其他：避免酸碱等腐蚀性气体浸蚀HUE--D1331系列超精密气浮导轨主要采用花岗岩、金属或陶瓷制作，配有精密导轨基体、气浮套和高洁净空气净化器。采用多项发明专利技术进行高精度、高刚度结构设计和气体润滑及支撑参数设计，使导轨兼有高精度、高刚度和高承载的特点;并使导轨工作状态平稳，在运动和定位状态下均无气体紊流振动、啸叫、噪声及高频微振等。控制特性分为有驱动和无驱动两种，按其需要进行驱动配置。

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超精密气浮直线基准圆柱度和直线度的测量，不仅要求仪器主轴的回转基准精度高，直线运动基准的精度要求也非常高。经过优化设计的华体会官网-华体会(中国)有限公司导轨结构，提供了极高的直线运动精度(0.05~0.1μm/100mm)，在整体结构上进行了精心设计，保障了仪器整体具有非常高的结构稳定性。稳定的花岗岩基座华体会官网-华体会(中国)有限公司的基座采用天然花岗岩材质，经过亿万年老化沉积，花岗岩材质质地均匀，强度高，应力变形小，对温度敏感性小。经过精加工保证各零、部件的机械位置，基座具有优良的稳定性和刚度。