甘肃航空发动机测试仪公司

特征与优势高精度回转基准本仪器通过气浮转台提供回转基准，气浮轴材料选用优质合金钢经渗氮处理，既具有高精度、耐磨性、高硬度又具有防锈功能.调心调倾工作台调心调倾工作台安装到气浮转台的台面上，具有调心和调倾功能，具有刚度高、精度高、结构坚固耐用的特点.双横臂自动升降立柱由横臂及立柱机构组成主要功能是固定传感器的空间位置.立柱可自动或手动升降，水平运动可手动进行快速大范围调整同时可以微调.通过传感器夹持机构可将传感器在测量平面一定范围内任意调整姿态，并可以测量内孔.

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由于SMEE的任务要求紧张，我公司仅用了三个月的时间完成了制造任务。2017年2月初，SMEE的质量控制人员、设计人员、工艺人员在我公司进行了验收测试，历经5天的时间完成了整个测试。产品经过清洁、包装等工作，于2017年2月15日由专车运往上海。新春伊始北京大学教授、中国科学院程和平院士一行在完成了对哈工大的访问之后,于2017年2月15日,在谭久彬的陪同下到我公司参观考察。程和平院士一行听取了谭久彬教授关于公司基础能力、研发能力、生产能力、典型产品等情况的介绍，考察了极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项、国家重大科学仪器研发专项等的研制情况。

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科学意义及应用价值：融合了衍射光学技术和超分辨光瞳滤波技术的各自特性，其与传统的环形透镜式共焦测量系统相比，在达到同等横向分辨力的情况下，由于整形环形光技术的采用使共焦显微镜的横向和轴向强度响应中心峰值的能量损失减小到1/(1-ε2)2倍，同时环形透镜内环边缘的衍射对测量系统造成的影响，横向分辨力优于0.2μm。本技术涉及光学扫描显微成像及微观扫描测量技术领域，可用于测量样品的三维表面形貌、三维微细结构、微台阶、微构槽、集成电路线宽等。

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为做好国家首批国家重大科学仪器开发专项项目验收工作，6月26日至27日，科技部科研条件与财务司副司长吴学梯、工业和信息化部科技司副司长李力先后来我公司考察，了解我公司的国家重大科学仪器设备开发专项项目。工业和信息化部、省工信委相关领导，我公司董事长等参加现场考察。吴学梯在考察时强调了国家实施创新驱动发展战略的重要意义和迫切性，详细了解了谭久彬教授所承担的“超高分辨率反射式立体层析共焦显微镜研制”项目在核心技术突破、工程样机和产品样机研制、测试验证、第三方异地测试的准备、产业前景和产业化途径、知识产权保护、标准制定以及经费使用等方面的进展情况。

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省委常委、副省长郝会龙出席会议并汇报，会议由省委常委、统战部长赵敏主持。万钢对黑龙江省省委、省政府为装备制造业技术创新和结构调整给与的高度重视和有力支持，以及黑龙江省在装备制造业发展中取得的成绩给与充分肯定。他说，为推动经济社会稳步发展，每年各民主党派中央都要开展年度重点调研。今年，致公党中央围绕全面深化改革，将“创新驱动促进装备制造业结构调整”作为年度重点调研课题，原因在于装备制造业是实现经济增长方式转变和推进传统产业改造升级的根本手段，也是科技成果转化为生产力的桥梁和通道。

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基本原理：干涉仪对深度非球面元件进行多次局部检测，两次测量区域之间有一定的重叠。将每两次检测重叠部分的相位值经过拟合统一到一个曲面上，这样可不断地将测量范围扩大，从而获得整个待测元件表面轮廓。拼接的理论依据是在重叠区域内，两次测量得到的波前相位值是一致的，即两次测量相位数据位于同一个曲面上。而在实际测量过程中，则需要倾斜、位移、离焦和振动干扰等误差影响，并依据一种高精度的多子孔径干涉拼接测量模型，实现全域凸凹深度非球面形状的测量与评定。