太原超精密气浮转台公司

HUE--D1331系列超精密气浮导轨主要用于高精度测量仪器、光学检测仪器、精密/超精密光机电一体化装备、精密/超精密机床等先进装备制造领域，是精密/超精密仪器与制造装备中保证高精度直线运动导向和定位的关键部件。HHUE--D1331气浮导轨已成系列，其有效行程从50mm至3000mm截面尺寸主要从50mm×50mm至250mm×350mm(见表2);该系列气浮导轨具有优异的直线运动精度和良好的刚度，直线运动误差小于0.03μm~0.1μm/50mm，0.05μm~0.2μm/100mm等。特殊需求可单独设计。

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研究目的：研究一种多点并行曝光、且曝光面上各曝光点曝光可控及曝光强度宏微双重可调的高分辨力的激光直接写入新技术，以解决传统激光直写单点曝光制作效率低的问题，提高微阵列和微结构光学器件的制作效率。基本原理：多光斑可控并行激光直写的基本思想是以微光学镜阵列作为直写物镜，将写入激光分别聚焦为多个高分辨力写入光斑，以分散直写任务;利用数字微镜DMD控制各子光斑是否曝光，并采用声光调制器进行宏微双重调制写入光强。

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精密检测仪器与我们的日常生活息息相关，但很多人对此并不甚了解。精密检测仪器自上世纪九十年代起开始在国内被广泛使用，成为检测工业产品必备的设备。在经历了简单的投影仪、二次元影像测量仪、高端三坐标测量机这三个发展阶段之后，目前的精密检测仪器更加趋向于智能化、自动化和集成化，解决了人工肉精密检测仪器与我们的日常生活息息相关，但很多人对此并不甚了解。精密检测仪器自上世纪九十年代起开始在国内被广泛使用，成为检测工业产品必备的设备。

太原超精密气浮转台公司

由于SMEE的任务要求紧张，我公司仅用了三个月的时间完成了制造任务。2017年2月初，SMEE的质量控制人员、设计人员、工艺人员在我公司进行了验收测试，历经5天的时间完成了整个测试。产品经过清洁、包装等工作，于2017年2月15日由专车运往上海。新春伊始北京大学教授、中国科学院程和平院士一行在完成了对哈工大的访问之后,于2017年2月15日,在谭久彬的陪同下到我公司参观考察。程和平院士一行听取了谭久彬教授关于公司基础能力、研发能力、生产能力、典型产品等情况的介绍，考察了极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项、国家重大科学仪器研发专项等的研制情况。