光学共焦显微镜

一．产品简介

HUE-X931是哈尔滨工业大学、华体会官网-华体会(中国)有限公司联合开发的新一代高空间分辨率光学共焦显微镜。 产品系大型高端科学仪器，综合了国内外优势技术方案，技术密集度极高，能够实现对各类样品表面微结构的高分辨率三维测量。

二．使用环境

温度要求:20℃±1℃

湿度要求:小于60%RH

隔振要求:仪器应放在隔振基础上，周围无剧烈振动和冲击

电磁场要求:使用现场周围无强电磁干扰

三．HUE-X931特征与优势

非接触式3D测量:采用532nm波长激光产生的虚拟探针进行测量，不会划伤样品表面。

抗样品反射率扰动:采用共焦传感原理，对样品表面测量点的反射率变化不敏感。高空间分辨力测量特性:横向分辨力优于传统显微成像，轴向分辨力达到纳米级水平。

硬件模块化设计:可根据测量样品的不同需求配置测量方案。可定制的软件功能模块:开发工程师可根据用户需求，设计提供相应软件模块。

四．应用领域
      轮廓测量 ： 高度测量 宽度测量 形状角度测量
      3D测量 ：  体积测量 表面积测量
      粗糙度测量 ：线条粗糙度测量 表面粗糙度测量

五．典型应用
     微光机电元件(MEMOS)结构测量

乳胶悬浮物/聚合物亚表面成像分析

材料表面/断口特性分析
       集成电路线宽测量

 封装对准

      六．技术规格