产品型号：HUE-G2631
产品名称：超大型气浮隔微振装置
最大载荷：130t
台体自重：154.7-1020t
最大浮起高度：40mm
位移分辨率：1μm、5μm
解决方案
产品手册
一.产品简介
HUE-G2631是哈尔滨工业大学、华体会官网-华体会(中国)有限公司联合开发的新一代大型/超大型气浮隔微振装置。本产品是超大型基础性平台设备，可用于大型/超大型精密仪器及系统、光学仪器及系统、超精密制造装备和工作母机等高端装备的加工、装调、测试与使用，在支撑大型高端和尖端超精密装备制造和使用中具有不可替代的重要作用。
40余项中外发明专利技术授权
国家科技重大专项推介产品
在北京空间机电研究所(5 0 8所)、哈尔滨量具刃具集团等单位应用
核心技术指标通过国家量仪产品质量监督检验中心检测
主要核心技术指标达到国际同类产品领先水平
台面固有频率0.8Hz
台面振动速度均方根值3μm/s
二.特征与优势
高分辨力与高精度的统一:
采用高速、高精度控制板卡控制，台体位移精确至微米级，真正实现超精密控制!
本土化产品快速供应:
产品核心技术和部件均来自国内，3~4个月施工完成并调试结束，无需历经严苛复杂的进出口安全与商务审批过程!
先进控制策略:
精密气浮隔振平台采用主被动复合控制方式，隔振效果得到显著提高，台体升降过程中，保持台体水平姿态，避免精密仪器在升降过程中可能出现的破坏，甚至倾覆的危险!
专家级成套解决方案:
超精密级隔振平台的隔振效果常被工作环境、对象等影响。依托本公司超精密仪器与装备工程专家团队，可提供超精密测量成套解决方案!
三.应用领域
HUE-GZ631大型/超大型气浮隔微振装置可以为超精密仪器设备装调测试提供稳定的平台。
我公司该产品目前已有18种适应不同应用场合的的型号产品;在航天、国防和高端超精密装备制造领域有广泛应用，可解决我国高端超精密装备研制、生产和使用中的隔微振技术难题。随着我国的装备制造业向中高端发展，HUE-G2631将在我国发展该类高端超精密装备发挥重大作用。
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四.技术规格
隔振系统整体规格 | 台体自重 | 154.7-1020t |
最大载荷 | 130t | |
最大浮起高度 | 40mm | |
位移分辨率 | 1μm、5μm | |
台体固有频率 | 1.2Hz | |
台体最大振动速度 | 3μm/s | |
空气弹簧隔振器 | 规格 | φ600-φ1000 |
设计载荷 | 11.5-32.0t | |
高精度、高速控制系统 | 采集电压分辨力 | 3mv |
控制电压分辨力 | 12mv | |
响应频率 | 83kHz | |
高度测量光栅尺 | 测量分辨力 | 1μm、5μm |
响应频率 | 200mm/s | |
主动作动器音圈电机 | 最大输出力 | 250N |
输出力分辨力 | 0.06N | |
差动式电压电流型功率放大器 | 电流分辨率 | 10mA |
通频带 | 2kHz | |
速度传感器 | 941B | |
通频带 | 0.25-100Hz | |
速度分辨率 | 4x108m/s | |
加速度分辨率 | 5x10-6m/s2 | |
位移分辨率 | 4x10-8m | |
使用要求 | 工作电压 | AC220V 50Hz |
工作气压 | 0.3-0.6MPa |
注：规格价格如有变更，恕不另行通知。版权所有，包括以上任何形式复制整个或部分文件的权利。
