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超精密制造能力展示

2022-01-19 11:18:00

已建成22000m2的研发及生产基地，包括1920㎡的超洁净超精密装配与测量车间，2820㎡的精密/超精密加工车间，2110㎡的精密装校车间，约2100㎡的光电...
基于整形环形光的横向超分辨共焦显微成像方法

2022-01-19 11:14:22

研究目的：构建一种具有横向光学超分辨成像特性的新型共焦显微成像特性，解决光束合理整形问题并突破衍射极限，实现一种具有横向光学超分辨能力的共焦显微成像技术。基本原...
基于动静压复合的超精密气浮回转基准技术

2022-01-19 11:12:58

研究目的：研究一种超精密、超高速、大载荷、高刚度的气浮回转基准，解决传统气浮回转基准承载能力小、刚度低、抗扰动能力差等问题，以期进一步提高气浮回转基准的回转精度...
基于多孔径干涉拼接的深度非球面测量技术

2022-01-19 11:11:42

研究目的：研究一种基于多个子孔径干涉拼接的全域非球面超精密测量技术，解决干涉仪测量范围受限和分辨率受限问题，实现局部变化较大的凸凹面深度非球面面型的高精度测量。...
基于微光学阵列的多光斑可控并行激光直接写入技术

2022-01-19 09:41:14

研究目的：研究一种多点并行曝光、且曝光面上各曝光点曝光可控及曝光强度宏微双重可调的高分辨力的激光直接写入新技术，以解决传统激光直写单点曝光制作效率低的问题，提高...

机械转台

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