一.产品简介
HUE-X931是哈尔滨工业大学、华体会官网-华体会(中国)有限公司联合开发的新一代高空间分辨率光学共焦显微镜。 产品系大型高端科学仪器,综合了国内外优势技术方案,技术密集度极高,能够实现对各类样品表面微结构的高分辨率三维测量。
二.使用环境
温度要求:20℃±1℃
湿度要求:小于60%RH
隔振要求:仪器应放在隔振基础上,周围无剧烈振动和冲击
电磁场要求:使用现场周围无强电磁干扰
三.HUE-X931特征与优势
非接触式3D测量:采用532nm波长激光产生的虚拟探针进行测量,不会划伤样品表面。
抗样品反射率扰动:采用共焦传感原理,对样品表面测量点的反射率变化不敏感。高空间分辨力测量特性:横向分辨力优于传统显微成像,轴向分辨力达到纳米级水平。
硬件模块化设计:可根据测量样品的不同需求配置测量方案。可定制的软件功能模块:开发工程师可根据用户需求,设计提供相应软件模块。
四.应用领域
轮廓测量 : 高度测量 宽度测量 形状角度测量
3D测量 : 体积测量 表面积测量
粗糙度测量 :线条粗糙度测量 表面粗糙度测量
五.典型应用
微光机电元件(MEMOS)结构测量
乳胶悬浮物/聚合物亚表面成像分析
材料表面/断口特性分析
集成电路线宽测量
封装对准
六.技术规格
高度测量 | 测量范围 | 20mm |
分辨力 | 1~10nm | |
重复性 | 5~ 20nm | |
宽度测量 | 分辨力 | 300nm |
重复性 | 20~100nm | |
成像模块 | ||
物镜放大倍率 | 5/10/20/50/100倍 | |
CCD | 像素个数1628X1236 | |
像元大小4.4μmX 4.4μm | ||
运动模块 | 手动Z轴调整范围 | 行程50mm,手动锁紧 |
电动Z轴调整范围 | 行程24mm,最小增量步进10nm | |
电动XY轴调整范围 | 行程20mmX20mm,最小增里步进1μm | |
扫描模块扫描分辨力 | 15μrad | |
线性度 | 99.9% | |
扫描速度 | 5帧/秒@256X 256像素 | |
光源模块 | 激光器 | 半导体激光器532nm波长 |
光纤 | 保偏光纤输出 |