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光学共焦显微镜

产品型号HUE-X931

产品名称光学共焦显微镜

测量范围:20mm

分辨力:300nm

线性度:99.9%

隔振要求:仪器应放在隔振基础上,周围无剧烈振动和冲击       


解决方案

产品手册

  • 详细信息
  • 产品概述

一.产品简介

HUE-X931是哈尔滨工业大学、华体会官网-华体会(中国)有限公司联合开发的新一代高空间分辨率光学共焦显微镜。 产品系大型高端科学仪器,综合了国内外优势技术方案,技术密集度极高,能够实现对各类样品表面微结构的高分辨率三维测量。

二.使用环境

温度要求:20℃±1℃

湿度要求:小于60%RH

隔振要求:仪器应放在隔振基础上,周围无剧烈振动和冲击

电磁场要求:使用现场周围无强电磁干扰


三.HUE-X931特征与优势

非接触式3D测量:采用532nm波长激光产生的虚拟探针进行测量,不会划伤样品表面。

抗样品反射率扰动:采用共焦传感原理,对样品表面测量点的反射率变化不敏感。高空间分辨力测量特性:横向分辨力优于传统显微成像,轴向分辨力达到纳米级水平。

硬件模块化设计:可根据测量样品的不同需求配置测量方案。可定制的软件功能模块:开发工程师可根据用户需求,设计提供相应软件模块。


四.应用领域
      轮廓测量 : 高度测量 宽度测量 形状角度测量
      3D测量 :  体积测量 表面积测量
      粗糙度测量 :线条粗糙度测量 表面粗糙度测量

 

 

五.典型应用
     微光机电元件(MEMOS)结构测量

乳胶悬浮物/聚合物亚表面成像分析

材料表面/断口特性分析
       集成电路线宽测量

 封装对准



      六.技术规格


高度测量

 测量范围 

20mm

分辨力

1~10nm

重复性

5~ 20nm

宽度测量

分辨力

300nm

重复性

20~100nm

成像模块


物镜放大倍率

5/10/20/50/100倍

CCD

像素个数1628X1236

像元大小4.4μmX 4.4μm

运动模块

手动Z轴调整范围

行程50mm,手动锁紧

电动Z轴调整范围

行程24mm,最小增量步进10nm

电动XY轴调整范围

行程20mmX20mm,最小增里步进1μm

扫描模块扫描分辨力 

15μrad

线性度

99.9%

扫描速度

5帧/秒@256X 256像素

光源模块

激光器

半导体激光器532nm波长

光纤

保偏光纤输出

 


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