研究对象主要由气浮导轨模块、直线电机驱动模块和磁流变阻尼器模块三大部分组成。超精密气浮转台具体研究内容主要包括：
1、基于Ansys有限元分析软件平台，采用有限元方法对气浮导轨的特性进行分析，研究气浮导轨在不同承载工况下空气静压轴承的动反力及气膜静刚度的非线性变化，并建立流固耦合模态有限元分析方法对气浮平台的固有振动特性进行研究。
2、运用有限元分析方法对自主开发的双边永磁直流直线电机的磁场分布与力学特性进行分析。以此为基础，分别采用mat lab和mat lab-Adams机电联合分析方法研究这种直线电机的运动特性。
3、超精密气浮转台为了研究适用于直线电机驱动的气浮平台的阻尼器，本文对比分析了闭式磁流变阻尼器与开式电流变阻尼器的特点，设计出一种新型结构的开式磁流变阻尼器，运用有限元方法分析其磁场分布，并对其关键尺寸进行优化设计；对其阻尼特性与响应特性进行了实验研究。
4、为了研究气浮平台的整体性能及其各关键零部件之间的相互影响，本文采用电磁-固耦合分析方法对具有磁流变阻尼的直线电机驱动的气浮平台进行整体建模和静力学特性研究。
超精密气浮转台机械结构部分：
1.1）直线轴或旋转轴需要安装到一个平面度5μm的平台基座上。
1.2）气浮台的供气气源要是洁净的，无水无油固体颗粒小于0.2μm，压力露点-20℃，三级过滤器定期排水（因地域湿度不同，根据实际情况检查，周/月/季检查），三级过滤器要竖直安装，定期检查是否有油水的情况，如有，打开过滤器底部开关排出。
1.3）直线轴和转台负载台面在3μm以内，先用无水乙醇擦拭干净在安装工件。
1.4）安装的工件平面度3μm以内。
1.5）安装螺钉时，4角固定时要对角线上螺钉，环形固定时要也对角安装，先轻微上力，再逐步加力，参考螺钉紧固力矩标准。
1.6）转台先通气再通电，气压在0.5~0.6Mpa，关机时先断电再断气。
