在半导体专用设备制造过程中，工作台往往需要实现一定度数范围内的旋转、定位从而满足加工工艺的要求。因此，实现工作台可靠、平稳旋转，精准落位，是半导体专用设备制造关键技术。在现代化的生产设备中，传统的工作台驱动方式是通过电机减速器直接作用于轴系，带动机械转台旋转，这种装置在实际应用中存在一定的不足，运转不平稳，震动大，噪音大，由于转动惯量不匹配，导致工作台落位时难以停稳，定位精度不能满足工艺需求，从而大大降低了设备可靠性。
在近几年的机械工业创新发展机床行业。在原有的机械转台基础上，把普通丝杆较换成滚珠丝杠，在铸铁的导轨面上镶嵌直线导轨。把变速箱电机较换成伺服电机。
1、气压驱动：气压驱动具有，系统结构简单，维修方便等特点，适用于中小负载的系统中。难于实现伺服控制，多用于程序控制的滑台机械手，在上下料和冲压设备中应用较多。
2、电动驱动：随着低惯量、直流伺服电机及配套的伺服驱动器的广泛应用，这种驱动系统被大量选用，在很大范围内发生作用。
3、液压驱动：液压驱动具有动力大，惯量大，响应，易于实现直接驱动等特点，适用于承载能量大，环境中工作的滑台机械手。
回转工作台的分度精度和重复定位精度首先取决于回转工作台的圆心Y轴的精度，Y轴径向圆跳动误差过大就会直接影响分度的精准度，因为圆心都不在同一个圆心上，所以测量出来的角度就谈不上精准，更谈不上重复定位的精准（这里谈的是实际测量值和理论值是有差异的），因此Y轴（即圆心）的径向精度是确保分度精度和重复定位精度的重要基础。
机械转台X轴（工作台平面）回转精度（即X正和X负）、Y轴的径向精度、分度精度和重复定位精度，是确保空间坐标各轴线垂直、平行的重要基础，有了这个重要基础的保证，才能确保各种零部件的加工精度。
