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大型超精密单轴气浮转台

产品型号:HUE-ZT1031

产品名称:大型超精密单轴气浮转台

径向回转精度:0.1μm

角回转精度:0.3μm

工作台平面度:15μm

工作台面跳动:20μm




  解决方案

  产品手册

  • 详细信息
  • 产品概述

一.产品简介

  HUE-ZT1031系列大型精密/超精密单轴气浮转台主要用于大型和超大型精密机械、光学精密零部件的几何参量或部件及整机运动参量的计量检测、以及大型精密装备分系统和整机装配测试等。

二.规格与工作特性

  HUE-ZT1031系列大型精密/超精密单轴气浮转台台面直径范围为①700mm~①3000,mm,设计有T型槽或固定子L的台面形式,特殊需要可单独定做;台体承重从800kg到20000kg,(技术指标见产品手册)。

.结构与工作特性

HUE-ZT1031系列大型精密/超精密单轴气浮转台配置精密气浮轴系,兼有高回转精度、高刚度和高承载能力等特点。转台高精度旋转时无噪声、无振动、运动平稳。转台配有花岗岩或铸铁基座和高洁净空气净化器。

四.控制特性

该转台分为有驱动和无驱动两种,有驱动的控制指标可按下述数据选配。

角位置误差:1~5”

角分辨率0.05~3”

重复性02--2”

      速率范围±0.03°/S~±150°/S  

速率波动性0.5%~1%


五,使用条件


电压 220或380V交流电压,50HZ

气源 0.4~0.5MPa的过滤干燥空气

温度20℃±5℃

湿度<60%

其他避免酸碱等腐蚀性气体侵蚀


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