非线性误差 优于±1nm
最大光束直径：9mm
输出效率：≥5%
测量点公差：平均值±0.15mm，偏差值±1mm
角度容差：±1.5mrad
光束平行度：＜50μrad （单轴测量光与参考光之间）
解决方案
视频展示
一.产品简介
DP01-P 是由哈尔滨工业大学研制、华体会官网-华体会(中国)有限公司开发的系 列高精度单轴激光干涉镜组。DP01-P 镜组采用平面镜光学四细分结构，不同进光方案适合 不同用户需求，适用于超精密线位移、角位移测量等各类工业应用及科学研究场合。
二.DP01-P 型单轴激光干涉镜组技术规格
| 测量特性 | 分辨力 | 刀4 （光学四细分） |
| 热漂移系数 | W40 nm/K | |
| 非线性误差 | 优于±1nm | |
| 光机特性 | 最大光束直径 | 9mm |
| 输出效率 | 25% | |
| 测量点公差 | 平均值±0.15mm,偏差值±1mm | |
| 角度容差 | ±1.5mrad | |
| 光束平行度 | V50Nrad （单轴测量光与参考光之间） | |
| 工作环境 | 温度 | 可工作范围18℃-25℃ |
| 推荐范围20±1℃, 30 min内变化W±0.1℃ | ||
| 相对湿度 | 30% - 60% | |
| 物理特性 | 尺寸 | 38.1mmX42.1mmX 58.1mm （包含殷钢外壳） |
| 重量 | 0.5 kg | |
| 共振频率 | ＞1kHz |
三.DP01-P型单轴激光干涉镜组机械尺寸
DP01-P型单轴激光干涉镜组机械尺寸
（图中尺寸只做位置说明，不用于生产加工）
配套激光耦合头安装架机械尺寸
（图中尺寸只做位置说明，不用于生产加工）
1.TBD系列单轴激光干涉镜组两具体型号机械尺寸相同。
2.入射光可由俯视图中左侧或右侧通孔进入，另一孔输出空间干涉光束，可安装配套的干涉光束耦合器。
3.可根据实际测量需求定制干涉镜组。
四.DP01-P型单轴激光干涉镜组部件清单
镜组1套（包含殷钢保护壳）；配套耦合头安装架（可选）；配套耦合头及尾纤（可选）
规格价格如有变更，恕不另行通知。版权所有，包括以上任何形式复制整个或部分文件的权利。
