非线性误差 优于±2nm
最大光束直径：9mm
输出效率：≥5%（三轴总和）
测量点公差：平均值±0.15mm，偏差值±1mm
角度容差：±1.5mrad
光束平行度：＜50μrad （单轴测量光与参考光之间）
产品手册
视频展示
一.产品简介
DP03-P是由哈尔滨工业大学研制、华体会官网-华体会(中国)有限公司开发的高 精度三轴激光干涉镜组。DP03-P镜组具有三个测量轴，可对被测目标进行多自由度位移同 步测量，以进一步解算其偏摆角度，适合超精密多自由度的测量应用。
二.DP03-P 型三轴激光干涉镜组技术规格
| 测量特性 | 分辨力 | λ/4（光学四细分） |
| 热漂移系数 | ≤40 nm/K | |
| 非线性误差 | 优于±2nm | |
| 光机特性 | 最大光束直径 | 9mm |
| 输出效率 | ≥5%（三轴总和） | |
| 测量点公差 | 平均值±0.15mm,偏差值±1mm | |
| 角度容差 | ±1.5mrad | |
| 光束平行度 | ＜50μrad （单轴测量光与参考光之间） | |
| 工作环境 | 温度范围 | 18℃-25℃ (推荐值 20±1℃，30 min 内变化≤±0.1℃) |
| 相对湿度 | 30% - 60% | |
| 物理特性 | 尺寸 | 134mmX91mmX73mm （包含殷钢保护壳） |
| 重量 | 3 kg | |
| 共振频率 | >1kHz |
三.DP03-P型三轴激光干涉镜组机械尺寸
DP03-P-L1型三轴激光干涉镜组典型尺寸
DP03-P-L2型三轴激光干涉镜组典型尺寸
（图中尺寸只做位置说明，不用于生产加工）
可根据实际测量需求定制干涉镜组。
规格价格如有变更，恕不另行通知。版权所有，包括以上任何形式复制整个或部分文件的权利。
