实际位移测量分辨力：≤0.4nm@1532.8nm
传感探头尺寸(最小)：≥φ4mm×12mm
激光频率稳定度(3h)：≤50ppb
干涉仪非线性误差：≤0.5nm
微探头类型:准直式/汇聚式
测量对象特征:反射率≥4%
解决方案
视频展示
一.产品简介
HUE-F 系列光纤微探头式激光干涉仪是 哈尔滨工业大学研发、哈尔滨超精密装 备工程技术中心有限公司生产的新一代 高精度嵌入式激光干涉仪。
哈尔滨工业大学最新科研成果
在国家重大专项前瞻性课题应用
5 项国际发明专利、15 项中国发明专利申请
二.HUE-F 系列产品核心技术参数如下：
实际位移测量分辨力 ≤0.4nm@1532.8nm 传感探头尺寸(最小) ≥φ4mm×12mm
激光频率稳定度(3h) ≤50ppb 干涉仪非线性误差 ≤0.5nm
微探头类型 | 工作距离 | 测量范围 | 测量对象特征 | 特点 |
准直式 | 1cm…1m （可定制） | 1cm・・・・1m | 反射率≥4% | 测量范围大 |
汇聚式 | 〉1cm （可定制） | F±5mm | 反射率≥4% | 测量光斑小 |
Note:表中F为汇聚式传感探头焦点距离。
三.HUE-F 系列产品特征与优势
微型化嵌入式传感方案！
解决了传统激 光干涉仪难以在极狭小空间、恶劣环境 下测量的难题。测量头体积小巧、绝不 发热，可定制，用户不再为难以安装、 热污染干扰而烦恼！
激光波长量值溯源！
波长采用 1532.8nm， 以乙炔的 P13 峰为基准，激光波长溯源 至美国国家标准与技术研究院(NIST)。
核心部件国产化！
受到外方技术封锁，包 括激光管，信号处理卡等高精度激光干涉 仪核心部件的采购，需经外方政府机构严 格审查。本产品核心部件来自国内，用户再也不用担心因卡脖子技术难以供货。
专家级成套解决方案！
针对不同的实际测量需求，依托本公司专家团队，可提供超精密测量成套解决方案！
规格价格如有变更，恕不另行通知。版权所有，包括以上任何形式复制整个或部分文件的权利。
